表面污染检测仪是一类用于精准识别、量化固体表面微量污染物（如油污、颗粒、金属离子、有机物残留等）的专业分析仪器，广泛应用于半导体制造、精密电子、生物医药、航空航天及食品包装等对表面洁净度要求严苛的领域，是保障产品质量、生产安全及工艺稳定性的核心工具。
其核心工作逻辑是通过特定检测原理，捕捉污染物与洁净表面在物理或化学特性上的差异：常见原理包括光学法（利用污染物对光的反射、散射或荧光特性差异，如激光散射法检测微小颗粒，紫外荧光法识别油类污染物）、电化学法（通过电极感应表面金属离子残留引发的电位变化）、接触角法（污染物会改变表面润湿性能，间接反映污染程度）及质谱法（适用于高精度有机物残留检测，可明确污染物成分）。不同原理的仪器可针对性解决不同类型的污染检测需求，例如半导体行业常用激光颗粒检测仪，而生物医药领域更依赖有机物残留检测仪。
1、探测器（Detector）
这是仪器最核心的部件，负责接收和转换辐射信号。根据需要探测的射线类型不同，探测器类型也不同：
α探测器：
材料：通常采用ZnS(Ag)闪烁体（硫化锌银激活）或气体正比计数器（如P-10气体：90%Ar+10%CH₄）。
特点：α粒子穿透力极弱，探测器窗口必须非常薄（如云母窗），且探测时需贴近被测表面（<5 cm）。
β探测器：
材料：常用塑料闪烁体（如聚苯乙烯掺杂荧光物质）或GM管（盖革-米勒管）。
特点：对β射线灵敏度高，可探测中高能β粒子（如P-32,Sr-90/Y-90）。塑料闪烁体响应快，适合大面积扫描。
γ探测器：
材料：常用NaI(Tl)闪烁晶体、GM管或半导体探测器（如CdTe,CZT）。
特点：γ射线穿透力强，可用于远距离探测或穿透轻质材料探测内部污染。NaI(Tl)灵敏度高，但体积较大；半导体探测器能量分辨率好，适合能谱分析。
α/β/γ多功能探头：一些高级仪器配备复合探头，可同时或分别测量多种射线。
2、主机单元（Main Unit/Counter）
这是仪器的“大脑”，包含电子学系统和用户界面，主要功能包括：
信号处理电路：将探测器输出的微弱电信号（脉冲）进行放大、整形和甄别。
高压电源（HV Supply）：为探测器（尤其是GM管、正比计数器、闪烁体光电倍增管）提供所需的工作高压（通常在几百至上千伏特）。
微处理器（MCU）：控制仪器运行、数据处理、逻辑判断（如区分α/β信号）。
显示器（Display）：显示测量结果（计数率、累计计数、剂量率）、电池电量、工作模式、报警阈值等信息。常见为LCD或OLED屏幕。
控制按键/旋钮：用于开关机、模式选择（α/β/γ）、量程切换、报警设置、数据查询等操作。
报警系统：
声报警：内置蜂鸣器，当测量值超过预设阈值时发出声音警报。
光报警：LED灯闪烁（常为红色），提供视觉警示。
振动报警（部分型号）：在嘈杂环境中提供触觉反馈。
数据存储与通信接口（高级型号）：
可存储测量数据、时间、位置等信息。
配备USB、蓝牙或RS232接口，用于数据导出或连接计算机。
3、连接电缆（Cable）
用于连接探测器和主机单元，传输探测信号和高压电源。
电缆应具有良好的屏蔽性能，防止外界电磁干扰影响测量结果。
部分便携式仪器采用一体化设计，探测器与主机集成，无需外接电缆。
4、电源系统（Power Supply）
电池：绝大多数表面污染检测仪采用可充电锂电池或干电池（如AA电池），便于现场便携使用。
充电电路：内置充电管理模块，支持通过USB或专用充电器充电。
低电量指示：当电量不足时，仪器会通过屏幕提示或报警提醒用户更换或充电。
5、机械结构与附件
探头支架/手柄：方便操作人员手持探头进行扫描，部分手柄集成控制按钮。
防护罩/保护窗：保护探测器敏感窗口（尤其是薄窗探测器）免受物理损伤和污染。
校准源支架：用于固定标准校准源，进行仪器效率校准或功能检查。
便携箱：用于安全存放和运输仪器及附件。
